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        • [行業新聞] 怎樣讓光學平臺更好的發揮性能?

          光學平臺廣泛運用于各個領域中,隨著先進的設備和工藝的發展,使納米量級的測量成為可能。例如,變相光學干涉儀測量物體的表面粗糙度,目前可以達到1納米的分辨率。在半導體領域,已生產出線寬在亞微米量級的集成電路,提出測量準確率小于50納米的精度要求
          發布時間:2020-04-17   點擊次數:39

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